电子厂废气处理概述
电子厂是所有从事与电子产品生产相关的工厂统称,包括电子元器件生产厂,电子产成品生产厂等。像我们所熟知的消费电子、广电设备、电路板、半导体芯片、仪器仪表等都是从电子厂产出的。因此,电子厂在国民经济和社会生活中的位置是举足轻重的,它在工业其中的数量也是非常庞大的。
当然,数量如此庞大的电子厂,在生产的各个环节都会产生大量的有害废气,像苯类、醇类、酮类、脂类等废气和有害粉尘,不仅气味难闻,且对人体和环境都有较大的负面影响。现在国家虽然对电子、半导体产业有较大力度的支持,但对于电子厂废气排放的监管却越来越严格,工厂必须达标排放才能正常进行生产。
电子厂废气来源及废气成分
在电子行业中,造成环境污染的有机废气一般产生于芯片生产或者是线路板的清洗、均 胶、去胶、刻蚀、显影等生产过程,因此这些加工环节的生产车间,都需要做废气的达标排放处理。
电子行业常见的VOCs废气种类有:异丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇单甲醚、苯乙烯等
电子厂废气处理工艺方案及原理简述
方案一:预处理+ 活性炭吸附-脱附+ 催化燃烧( CO )工艺
方案二:预处理+ 沸石转轮 +蓄热式焚烧炉(RTO )工艺
吸附法利用多孔性固体吸附剂处理混合气体,吸附剂选择性高,活性炭属非极性吸附剂,对非极性化合物有较强的吸附能力,一般可净化低浓度有机废气。
焚烧法是沸石浓缩转轮 + 焚烧方法使用的浓缩轮是一个装满吸附剂的旋转轮,废气由旋转轮的上游侧进入浓缩轮的吸附区,使VOCs 得到浓缩,再经脱附燃烧处理。
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