一、成本方面

制药废气处理工艺的成本主要包括设备投资、运行维护和能耗等方面。需要综合考虑这些成本因素。通常情况下，生物法、等离子体法等工艺的设备投资较高，但能耗低，运行维护相对简单。催化燃烧法、热氧化法等工艺设备投资较低，但能耗较高，运行维护相对复杂。

二、效益方面

制药废气处理工艺的效益主要包括处理效率、处理效果和处理后的资源利用。需要综合考虑这些效益因素。生物法、等离子体法等工艺对废气处理效率高，处理效果好，且处理后的资源可再利用。催化燃烧法等工艺对废气处理效率较低，处理效果不够理想，且处理后的资源利用率较低。

三、环保方面

制药废气处理工艺的环保要求关重要。需要综合考虑废气处理效率、废气排放标准、废气处理后的环境影响等因素。生物法等工艺对废气排放标准要求高，能够有效降低废气排放量，减少环境污染。催化燃烧法、热氧化法等工艺对废气排放标准要求较低，处理后的废气排放量相对较大，对环境影响较大。

综上所述，制药废气处理工艺选用需要综合考虑成本、效益和环保三个方面的因素。需要根据实际情况进行综合考虑，选择适合自己企业的废气处理工艺。

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