半导体企业生产过程中会产生大量的尾气，这些尾气中含有各种有害物质，需要进行处理。那么半导体企业尾气处理用什么设备呢？下面就由行业专家给出解答。

1.活性炭吸附设备

活性炭吸附设备是半导体企业尾气处理的主要设备之一。该设备采用活性炭吸附技术，能够有效去除尾气中的有机物、挥发性有机物等有害物质。

2.催化氧化设备

催化氧化设备是一种高效处理尾气的设备。该设备通过催化剂作用，将尾气中的有机物、硫化物等有害物质氧化分解为无害物质，同时还能够降低尾气中的氮氧化物排放。

3.湿式洗涤设备

湿式洗涤设备是一种常用的半导体企业尾气处理设备。该设备采用水作为洗涤介质，能够有效去除尾气中的有机物、氨气、硫化氢等有害物质。

4.等离子体处理设备

等离子体处理设备是一种高科技尾气处理设备。该设备采用等离子体技术，能够将尾气中的有害物质分解为无害物质，同时还能够降低尾气中的氮氧化物排放。

半导体企业尾气处理是一项重要的环保工作，需要采用专业的设备进行处理。目前市场上常用的尾气处理设备有活性炭吸附设备、催化氧化设备、湿式洗涤设备和等离子体处理设备等。企业在选择设备时需要根据自身的生产情况和尾气排放标准进行选择。

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