1、除尘：除尘是氟化物废气处理中常用的方法，主要是将废气中的细小颗粒物进行捕集。通常使用静电除尘器、旋风除尘器、袋式除尘器、回收式除尘器等来实现，可以有效地降低废气中的颗粒物浓度。

2、吸收：吸收是氟化物废气处理常用的方法之一，它的基本原理是利用溶液的吸附作用，使废气中的氟化物进入溶液中，从而降低废气中的氟化物浓度。常用的吸收剂有碱性溶液、硫酸铵、硫酸钠、氯化钙等。

3、催化：催化是指利用催化剂来使氟化物发生反应，从而转化为无害物质。常用的催化剂有碳酸钙、碳酸钠、石灰石、硅酸钙等。

4、脱硫：脱硫是指利用吸附剂将废气中的亚硫酸钠进行吸附，从而降低废气中的硫化物浓度。常用的吸附剂有活性炭、活性硅酸钙、活性铝等。

5、活性炭吸附：活性炭吸附是指利用活性炭的吸附作用，将废气中的氟化物吸附到活性炭表面，从而降低废气中的氟化物浓度。

总之，氟化物废气处理的方法主要有除尘、吸收、催化、脱硫和活性炭吸附等五种。这些方法都有其特点和优点，环保部门和企业应根据自身情况，结合实际情况，选择合适的方法来处理氟化物废气，以保护环境。