1、污染源治理：污染源治理是工业废气处理系统的重要组成部分，它包括污染源检测、污染源治理、废气处理技术和烟气排放控制等。它的作用是将污染源的排放量降，以减少污染物的排放，减少环境污染。

2、废气处理：废气处理是工业废气处理系统的核心环节，它的目的是将废气中的有害物质（如氮氧化物、硫氧化物等）进行净化，使其符合的排放标准。常用的废气处理技术有脱硝、脱硫、烟气除尘、过滤、吸附等。

3、废气烟气排放控制：废气烟气排放控制是工业废气处理系统的重要组成部分，它的作用是对废气中的有害物质的排放量进行控制，以确保环境污染小化。常用的废气烟气排放控制技术有排放检测、排放标准化、排放控制装置等。

4、废气治理：废气治理是工业废气处理系统的一环，它的目的是将废气中的有害物质处理掉，使其符合的排放标准。常用的废气治理技术有活性炭吸附、蒸发冷凝、催化氧化、生物处理等。

结论：以上就是工业废气处理系统包括的主要部分，它们在防治污染中起着重要作用，正确使用这些技术可以有效减少环境污染。