半导体工业中，尾气处理是一项非常重要的工作。因为半导体生产过程中会产生大量的有害气体，如氟化氢、三氯甲烷、四氯化硅等等。这些有害气体如果不经过处理，就会对环境和人类健康造成严重的危害。那么，半导体尾气处理用什么设备呢？

目前，半导体尾气处理主要采用的是催化燃烧技术。这种技术是将有害气体通过催化剂进行氧化反应，使其转化为无害气体，如二氧化碳、水蒸气等等。在这个过程中，需要使用到的设备主要有以下几种

1. 催化燃烧炉

催化燃烧炉是半导体尾气处理中常用的设备之一。它是通过在燃烧炉内加入催化剂，使得有害气体在高温下与氧气反应，从而达到净化的效果。相比于其他处理方式，催化燃烧技术具有处理效率高、净化效果好、操作简单等优点。

2. 热交换器

热交换器是半导体尾气处理中另一个重要的设备。它的作用是在催化燃烧炉中回收能量，从而实现节能降耗的效果。具体来说，热交换器可以将废气中的热量传递给进气的新鲜空气，使其在进入催化燃烧炉之前就被预热，从而减少了燃烧炉的能耗。

3. 脱硝设备

半导体生产过程中，还会产生一些氮氧化物等有害气体。这些气体如果不经过处理，就会对环境和人体健康造成危害。因此，在半导体尾气处理中，还需要使用到脱硝设备。这种设备可以将废气中的氮氧化物转化为无害氮气，从而达到净化的效果。

总之，半导体尾气处理用的设备主要是催化燃烧炉、热交换器和脱硝设备等。这些设备不仅具有环保的效果，还可以实现节能降耗的目的。在未来，随着科技的不断发展，相信半导体尾气处理的技术也会越来越先进，为我们的生活带来更多的便利和安全。