半导体工艺是一种高科技产业，但是其生产过程中会产生大量废气，对环境造成很大的影响。因此，如何有效治理半导体工艺废气是一个重要的问题。本文通过实测比较分析，探讨了几种半导体工艺废气治理工艺的优缺点，为半导体工艺废气治理提供一些参考。

1.化学吸附法

化学吸附法是一种将有害气体吸附于吸附剂表面进行处理的方法。该方法具有处理效率高、处理效果稳定等优点。该方法需要大量的吸附剂，造成了成本上的增加。

2.活性炭吸附法

活性炭吸附法是以活性炭为吸附剂，将有害气体吸附于其表面进行处理的方法。该方法具有成本低、处理效率高等优点。该方法需要定期更换活性炭，造成了一定的经济负担。

3.生物滤池法

生物滤池法是一种利用微生物将有害气体进行降解处理的方法。该方法具有处理效率高、处理成本低等优点。该方法需要一定的运行周期，不能立即达到处理效果。

结论根据实测比较分析，我们可以得出结论化学吸附法、活性炭吸附法和生物滤池法三种半导体工艺废气治理工艺各有优缺点。如果考虑成本问题，可以选择活性炭吸附法；如果考虑处理效率问题，可以选择化学吸附法；如果需要长期稳定的废气治理效果，可以选择生物滤池法。