半导体工业是现代高科技产业的重要组成部分，但是在半导体生产过程中产生的废气对环境和人类健康造成了一定的影响。因此，半导体废气处理方法的研究和应用显得尤为重要。

半导体废气处理方法主要有物理法、化学法和生物法三种。

物理法主要包括吸附法、膜分离法和等离子体法。吸附法是将废气中的有害物质吸附到特定的吸附剂表面，常用的吸附剂有活性炭、分子筛等。膜分离法是利用特定的膜材料将有害物质分离出来，常用的膜材料有聚酰胺膜、聚醚腈膜等。等离子体法是将废气中的有害物质通过等离子体反应分解为无害物质，常用的等离子体有电晕放电等。

化学法主要包括洗涤法、氧化法和还原法。洗涤法是将废气中的有害物质通过化学反应转化为易于处理的物质，常用的洗涤液有氢氧化钠、硫酸等。氧化法是将废气中的有害物质通过氧化反应转化为无害物质，常用的氧化剂有臭氧、过氧化氢等。还原法是将废气中的有害物质通过还原反应转化为无害物质，常用的还原剂有氢气、硫酸亚铁等。

生物法主要包括生物滤池法和生物反应器法。生物滤池法是利用微生物将废气中的有害物质转化为无害物质，常用的微生物有硝化菌、反硝化菌等。生物反应器法是利用微生物对废气中的有害物质进行生物降解，常用的微生物有厌氧菌、好氧菌等。

总体来说，半导体废气处理方法的选择需要根据废气的成分、浓度、处理效率、经济性等因素进行综合考虑。同时，不同的处理方法也可以结合使用，以达到更好的处理效果。