答 半导体废气处理方法有很多种，但是不同的处理方法效率也不同。根据实测结果，专家给出以下几种处理方法的效率排名

1. 等离子体处理法等离子体处理法是一种高效的半导体废气处理方法。它通过将废气通入等离子体反应器中，产生高温高压等离子体，在等离子体的作用下，废气中的有害物质被分解成无害物质。该方法处理效率高达90%以上，且对环境污染小。

2. 活性炭吸附法活性炭吸附法是一种常见的半导体废气处理方法。该方法通过将废气通入活性炭吸附器中，利用活性炭的吸附作用将废气中的有害物质吸附下来。该方法处理效率在70%左右，但是活性炭需要不定期更换，且更换后的活性炭需要进行处理，否则会对环境造成污染。

3. 催化氧化法催化氧化法是一种将有害物质氧化成无害物质的半导体废气处理方法。该方法通过将废气通入催化剂反应器中，在催化剂的作用下，废气中的有害物质被氧化成无害物质。该方法处理效率在60%左右，但是催化剂需要定期更换，且更换后的催化剂需要进行处理，否则会对环境造成污染。

综上所述，等离子体处理法是一种效率高、对环境污染小的半导体废气处理方法。