半导体生产过程中产生的废气对环境和人体健康造成负面影响。因此，对半导体生产废气的处理工艺进行选择关重要。本文将从技术和成本两个方面分析半导体生产废气处理的不同工艺，以期为相关企业提供参考。

1.化学吸收法

化学吸收法是将废气通过吸收剂进行吸收，使废气中的有害物质被吸附或转化为无害物质。能够处理多种有害气体，但是吸收剂的成本较高，需要频繁更换，且容易造成二次污染。

2.燃烧法

燃烧法是将废气通过高温燃烧，使有害物质转化为二氧化碳和水等无害物质。处理后的废气排放量低，但是处理过程能耗较高，且需要占用大量的空间。

3.膜分离法

膜分离法是利用半透膜将废气中的有害物质分离出来，使其达到排放标准。处理后的废气排放量低，但是成本较高，需要经常更换膜组件。

综合分析，半导体生产废气处理工艺的选择应当根据具体情况而定。如果企业注重处理效率和处理后的废气排放量，可以选择燃烧法或膜分离法；如果企业注重成本控制，可以选择化学吸收法。同时，为了确保废气处理的效果，企业需严格遵守环保法规，定期进行废气排放检测和维护。