随着半导体工业的快速发展，工艺废气问题越来越引起人们的关注。工艺废气中含有大量的有害物质，对环境和人体健康造成了很大的危害。因此，半导体工艺废气治理成为了重要的环保工作。

为了有效地治理半导体工艺废气，需要使用一些专业的设备。下面我们就来了解一下这些设备。

1.废气净化器

废气净化器是半导体工艺废气治理的主要设备之一。它可以将废气中的有害物质去除，净化废气，达到排放标准。废气净化器的种类很多，有湿式废气净化器、干式废气净化器等。根据不同的废气成分和排放要求，选择不同类型的废气净化器。

2.废气吸附器

废气吸附器主要用于去除废气中的有机物质和气味。它通过吸附剂将废气中的有机物质吸附下来，达到净化废气的目的。废气吸附器的种类也很多，有活性炭吸附器、分子筛吸附器等。选择合适的废气吸附器可以有效地去除废气中的有机物质和气味。

3.废气燃烧装置

废气燃烧装置是将废气中的有害物质通过燃烧达到净化废气的目的。它主要用于处理高浓度的有机废气和气体燃料废气。废气燃烧装置的种类也很多，有直接燃烧、催化燃烧等。选择合适的废气燃烧装置可以有效地净化废气。

4.废气再生装置

废气再生装置是将废气中的有害物质通过吸附、脱附等方式进行分离和回收。它主要用于处理低浓度的有机废气和有机溶剂废气。废气再生装置的种类也很多，有吸附、脱附式废气再生装置等。选择合适的废气再生装置可以有效地回收有机溶剂和减少废气排放。

以上是半导体工艺废气治理中常用的设备，通过合理选择和配置这些设备，可以有效地治理半导体工艺废气，保护环境和人类健康。