半导体废气处理方法：

1、过滤：过滤法是将半导体废气通过过滤器进行过滤，从而去除气体中的有害物质，并将其转化为更清洁的气体。吸收：吸收法是将废气先进行脱硝，然后通过吸收剂和吸收剂床吸收有害物质，从而达到净化废气的目的。脱硫：脱硫法是将含有硫化物的废气通过脱硫剂进行脱硫，从而达到净化废气的目的。

4、脱硝：脱硝法是将废气中的氮氧化物通过脱硝剂进行脱硝，以达到净化废气的目的。

5、活性炭：活性炭法是将半导体废气通过活性炭进行吸附，从而去除气体中的有害物质，并将其转化为更清洁的气体。

半导体废气处理方法的优点：

1、有效净化：半导体废气处理方法能够有效去除气体中的有害物质，有效净化空气。 低成本：半导体废气处理方法的成本比较低，能够有效降低生产成本。环保：半导体废气处理方法能够有效减少污染，保护环境。

半导体废气处理方法的缺点：

1、处理效率低：半导体废气处理方法的处理效率相对较低，处理过程较长。 2、处理成本高：半导体废气处理方法的成本较高，降低生产成本的空间有限。 3、有害物质残留：半导体废气处理方法虽然能够有效净化空气，但仍然有可能存在有害物质残留。

综上所述，半导体废气处理方法采用过滤、吸收、脱硫、脱硝和活性炭等多种方法，能够有效净化空气，但其处理效率相对较低，成本较高，有可能存在有害物质残留的问题，因此，应根据实际情况合理选择半导体废气处理方法，以达到的净化效果。