半导体工业是一种高科技产业，但在生产过程中会产生大量的废气，这些废气含有有害物质，需要通过废气处理装置进行处理。目前市面上常见的半导体废气处理装置有几种，包括烟气净化器、等离子体废气处理装置、活性炭吸附装置等。那么，这些废气处理装置哪种效率高？哪一款省钱呢？

首先，我们来了解一下这几种废气处理装置的工作原理。烟气净化器是通过物理方法对废气进行处理，主要是利用过滤、静电、离心等方式将废气中的颗粒物过滤掉，达到净化的目的。等离子体废气处理装置则是利用高温等离子体对废气进行处理，将废气中的有害物质分解成无害物质。活性炭吸附装置则是利用活性炭对废气中的有害物质进行吸附，达到净化的目的。

从处理效率来看，等离子体废气处理装置是效的，其处理效率可以达到99%以上，能够有效地分解废气中的有害物质。其次是活性炭吸附装置，其处理效率可以达到90%以上。而烟气净化器的处理效率相对较低，一般只能达到80%左右。

从经济角度来看，活性炭吸附装置是省钱的。虽然其处理效率不如等离子体废气处理装置，但其成本较低，维护保养成本也较低。而等离子体废气处理装置的成本较高，维护保养成本也较高。

总的来说，半导体废气处理装置哪种效率高，哪一款省钱，需要根据实际情况来选择。如果追求处理效率，可以选择等离子体废气处理装置；如果追求经济实惠，可以选择活性炭吸附装置。