1. 热解工艺

热解工艺是将废气加热高温，使其分解成简单的化合物。能够处理多种有机废气。其能耗较高，需要大量的能源支持，且会产生二次污染。

2. 吸附工艺

吸附工艺是将废气通过吸附剂进行吸附，然后进行再生。其吸附剂的再生需要消耗大量的能源。

3. 等离子体工艺

等离子体工艺是将废气放入等离子体中进行处理。这种工艺处理效果较好，其设备成本较高，需要较大的投资。

4. 活性炭吸附工艺

活性炭吸附工艺是将废气通过活性炭进行吸附，然后进行再生。同时，其再生过程不需要消耗大量的能源，且再生后的活性炭可以反复使用。

综上所述，活性炭吸附工艺是目前半导体废气处理中的工艺。它不仅而且能耗较低，再生过程不需要消耗大量的能源，且再生后的活性炭可以反复使用，具有较高的经济效益。